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在實驗及生產中,應如何選擇管式爐呢?
更新時間:2021-11-04
公司新聞
管式爐
具有操作簡單、保溫效果好、控溫精度高、溫度范圍大以及可通氣氛等特點,主要應用于院校實驗室、工礦企業實驗室,應用于高、中、低溫CVD工藝
,如碳納米管的研制,晶體硅基板鍍膜,金屬材料擴散焊接以及真空或氣氛下的熱處理等。管式爐的爐型有很多種,如立式、臥式、單溫區、雙溫區、三溫區、五溫區、單管、雙管等等。
管式爐的選擇:
1、根據工作溫度要求選擇:如果工作溫度要求小于1200°C,可選擇爐管為石英管,加熱元件是含鉬電阻絲的管式爐;如果工作溫度大于1200小于1400,可選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅碳棒的管式爐;如果工作溫度大于1400小于1700,可以選擇爐管為氧化鋁,加熱元件是硅鉬棒的管式爐;
2、根據升溫速率要求來選擇:如果升溫速率要求不高,0-30°C/min,一般的管式爐都可以選擇,但如果升溫速率要求比較高,大于30°C/min,需要選擇具有快速退火功能的管式爐,比如滑動式快速退火爐,RTP快速退火爐等;
3、根據壓力要求來選擇,如果正壓超過0.03Mpa,需要選擇高壓管式爐,如果同時對溫度要求也比較高,需要選擇高溫高壓管式爐;
4、根據加熱區來選擇,如果需要多個溫區來進行加熱,則選擇多溫區管式爐,具體溫區數可以根據要求來選擇;
5、根據工藝受熱要求來選擇,比如對特定材料要求受熱更均勻,可根據需求來選擇旋轉管式爐、多工位管式爐等。
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